超精密數控機床靜壓導軌直線度調整方法

    所述靜壓導軌包括：動導軌和定導軌，動導軌和定導軌之間用靜壓油膜隔開，動導軌在定導軌上移動時，以動導軌移動時的低點為基準，測量導軌移動時各點在高度方向上的直線度誤差；在定導軌上安裝副導軌，副導軌移動時與動導軌相同，并與動導軌同步移動，副導軌上裝電磁線圈，并在動導軌的相應位置安裝電磁鐵芯；根據測得的動導軌上各點相對于基準點的高度誤差值，測量各點下壓至基準點時所需的力，計算電磁鐵芯產生該吸力所需的電流電壓值；在副導軌上安裝電磁線圈，以電磁力使動導軌上各點的電流始終保持在所需的水平。將帶電磁線圈的副導軌安裝在定導軌上，在相應的動導軌上安裝電磁鐵芯，通上電流電壓后電磁鐵芯產生吸力，使動導軌上的每一點受力，并始終保持與定導軌基準點平直的直線上運動，從而控制動導軌與定導軌之間的直線度誤差。線度調整精度高，科學合理。

    所述靜壓導軌包括動導軌1、定導軌2、動導軌1和定導軌2之間用靜壓油膜3隔開，具體步驟是：當動導軌1在定導軌2上移動時，以動導軌1移動時的低點為基準點，測量導軌1移動時各點在高度方向上的直線度誤差；測量動導軌1上各點相對于基準點的高度誤差值，測量動導軌4和定導軌4的移動方向與動導軌1一致，并與動導軌1同步移動，副導軌4上裝電磁線圈5，在動導軌1的相應位置安裝電磁線圈5，通過測量動導軌1上各點相對于基準點的高度誤差值，確定動導軌1上各點向基準點移動時的力值。同時還可以在水平方向上布置一組副導軌和相應的電磁線圈、電磁鐵心，以控制水平方向的直線度誤差。